1.真空用壓力開關(guān)

（1）壓力設(shè)定步驟
1 通電（確認(rèn)配線后再接通直流電源。）
2 將顯示切換開關(guān)設(shè)為壓力設(shè)定模式（ME→S1 or S2、SW）。2 -2（帶模擬輸出型真空用壓力開關(guān)）將響應(yīng)差設(shè)定微調(diào)電容器（HYS）朝逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)到底，設(shè)為小響應(yīng)差。
3 使用小型螺絲刀等旋轉(zhuǎn)壓力設(shè)定微調(diào)電容器（S1 or S2、SW），調(diào)至所需設(shè)定值。
4 將顯示切換開關(guān)置于ME后施加壓力，確認(rèn)實(shí)際是否動(dòng)作。（帶2點(diǎn)開關(guān)輸出型真空用壓力開關(guān)時(shí)）開關(guān)輸出1（S1）：超出設(shè)定壓力時(shí)動(dòng)作指示燈（紅色LED）亮燈。開關(guān)輸出2（S2）：超出設(shè)定壓力時(shí)動(dòng)作指示燈（綠色LED）亮燈。（帶模擬輸出型真空用壓力開關(guān)時(shí)）開關(guān)輸出（SW）：超出設(shè)定壓力時(shí)動(dòng)作指示燈（紅色LED）亮燈。
 

（2）響應(yīng)差設(shè)定
1 可使用響應(yīng)差設(shè)定微調(diào)電容器（HYS）調(diào)整響應(yīng)差（遲滯）。
2 響應(yīng)差調(diào)整范圍為設(shè)定值的約0～15％。按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)微調(diào)電容器時(shí)，響應(yīng)差變大。
3 響應(yīng)差確認(rèn)將顯示切換開關(guān)設(shè)為壓力顯示模式（ME），在設(shè)定壓力附近小幅度上下調(diào)整，讀取動(dòng)作指示燈的亮燈、熄燈值。顯示值之差即為響應(yīng)差。
4 調(diào)整響應(yīng)差的使用示例
·壓力存在波動(dòng)，輸出小且重復(fù)斷續(xù)時(shí)，加大響應(yīng)差。

（3）注意事項(xiàng)

1 請(qǐng)勿在含有腐蝕性物質(zhì)的環(huán)境或氣體中使用。否則可能會(huì)導(dǎo)致開關(guān)故障。
2 請(qǐng)勿采用會(huì)施加干擾（浪涌）等的配線或使用方法。否則可能會(huì)導(dǎo)致開關(guān)故障。
3 請(qǐng)勿在具有可燃性或爆炸性的氣體、液體、環(huán)境中使用。由于本產(chǎn)品并非防爆結(jié)構(gòu)，存在爆炸起火的可能性。
4 請(qǐng)勿在會(huì)沾染水滴、油滴、塵埃等的場所中使用。本產(chǎn)品并非防滴結(jié)構(gòu)，因此可能會(huì)導(dǎo)致故障。
5 請(qǐng)勿采用超出使用溫度范圍而發(fā)熱的使用方法。否則可能會(huì)導(dǎo)致開關(guān)故障。
6 請(qǐng)務(wù)必切斷電源后再進(jìn)行配線。此外，配線時(shí)請(qǐng)確認(rèn)導(dǎo)線顏色，避免將輸出端子與電源端子、COM端子短接。否則可能會(huì)導(dǎo)致開關(guān)
故障。
7 請(qǐng)勿強(qiáng)拉或極度彎曲接插件電纜。否則會(huì)導(dǎo)致斷線及接插件部損壞。
8 真空破壞時(shí)，請(qǐng)勿長時(shí)間施加0.2MPa以上的壓力。否則可能會(huì)導(dǎo)致開關(guān)損壞。
9 設(shè)定壓力及響應(yīng)差時(shí)，請(qǐng)使用小型螺絲刀在微調(diào)電容器的旋轉(zhuǎn)范圍內(nèi)慢慢旋轉(zhuǎn)，勿施加過大的力。否則可能會(huì)導(dǎo)致微調(diào)電容器及基板
損壞。
10 電源請(qǐng)使用穩(wěn)定的直流電源。
11 與輸出端子及電源端子連接（繼電器、電磁閥等）時(shí)，請(qǐng)接入浪涌電壓吸收回路。此外，請(qǐng)避免采用電流會(huì)超過80mA的使用方法。
12 使用開關(guān)電源等單元電源時(shí)，請(qǐng)將FG端子接地。
13 請(qǐng)勿將輸出端子（黑色、灰色導(dǎo)線）與其它端子短接。
14 請(qǐng)勿從外部對(duì)開關(guān)本體施加強(qiáng)力沖擊或過大的力。

（4）接線方法

2.溢流閥調(diào)整方法

（1）回路圖、結(jié)構(gòu)圖

（2）真空泵適用單元（VSJP□）的針閥開度極限因真空泵性能而異，因此請(qǐng)?jiān)诓粫?huì)影響真空確立時(shí)間、真空度的
條件下設(shè)定針閥開度。
（3）設(shè)定溢流針閥后，請(qǐng)?jiān)俅未_認(rèn)真空特性及真空確立時(shí)間有無異常。
※超出表1的溢流針閥開度極*，真空確立時(shí)間會(huì)發(fā)生延遲或無法獲得正常的真空度，敬請(qǐng)注意。
（4）請(qǐng)使用真空破壞流量調(diào)整針閥設(shè)定所需的真空破壞流量。
※需縮短真空破壞時(shí)間時(shí)，請(qǐng)加大真空破壞空氣流量。
※發(fā)生工件被吹走等情況時(shí)，請(qǐng)減小真空破壞空氣流量。

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